F08500 - SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 StdPbc-1122 適用於本指引的溫室氣體(GHG)為CF4,C2F6,C3F8,c-C4F8,CHF3,SF6與NF3。
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